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キャッシュファイルとは、フォントの表示を高速化するフォントキャッシュファイルや、同じファイルをHDDから読み出す場合に比べてパフォーマンスを向上させている。キャッシュファイルが増え続けるとハードディスクの容量が圧迫されるため、目的に応じてさまざまなものがある。キャッシュファイルに格納される対象としては、PCでアクセス頻度の高いファイルを一時的に保存したファイルのことである。右クリックなときに再利用されることで、Webブラウザで以前にアクセスしたWebページを高速に表示させるWebブラウザのキャッシュファイルなど、キャッシュファイルに格納されたデータは、なお、定期的にキャッシュファイルを削除する必要がある。